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普洛帝液體顆粒計數(shù)器 油水雙系多介質檢測

更新時間:2026-10-23   點擊次數(shù):137次

在工業(yè)液體潔凈度檢測場景中,同一條產線或同一個實驗室往往需要面對多種介質:超純水、工藝清洗劑、光刻膠、液壓油、潤滑油等。如果為每種介質單獨配置一臺顆粒計數(shù)器,設備采購成本和維護工作量都會增加;而使用單一的流路設計的儀器跨介質測量,又容易發(fā)生交叉污染和粒徑標定偏移。普洛帝作為油液顆粒檢測領域技術創(chuàng)新者,推出PMT-2液體顆粒計數(shù)器油水雙系版本,通過水相與油相流路切換的設計思路,覆蓋多種液體介質的顆粒檢測需求。

多介質檢測痛點

多介質檢測的首要問題是交叉污染。一臺設備剛測過液壓油,接著測超純水,殘留油膜會附著在傳感器窗口和管路內壁,影響后續(xù)水相樣本的基線讀數(shù)。其次是粘度差異帶來的取樣偏差:水相介質粘度接近1mPa·s,而液壓油在常溫下粘度可達數(shù)十至上百mPa·s,同一根取樣管路和同一組泵速參數(shù)無法同時兼顧。再者是粒徑標定曲線不同——油相顆粒檢測通常參照ISO 4406和NAS 1638等級體系,水相超純水檢測則更關注低濃度下的絕對顆粒數(shù)/mL,兩種報告口徑需要分開管理。

油水雙系原理

PMT-2油水雙系版本配置兩套獨立流路:水相流路采用惰性管路材料,面向超純水、光刻膠、清洗劑等水性或低粘度介質;油相流路適配液壓油、潤滑油、絕緣油等礦物油介質。操作人員通過軟件界面切換檢測模式后,儀器自動調用對應的粒徑標定曲線和流速參數(shù),避免水油混流。傳感器共用第八代雙激光窄光檢測器,通過切換流路末端連接方式完成介質切換,減少整機內部交叉殘留。油相檢測部分滿足ISO 4406、NAS 1638污染度等級評定要求;水相檢測部分參照ISO 21501-2光散射液體顆粒計數(shù)器標定方法執(zhí)行。

參數(shù)表

參數(shù)項目

技術指標

檢測原理

光散射法(第八代雙激光窄光)

水相粒徑范圍

0.1μm~100μm

油相粒徑范圍

1μm~400μm

取樣流速

5mL/min~150mL/min

工作壓力

0~0.5MPa(無減壓閥);0~31.5MPa(含減壓閥)

數(shù)據(jù)重復性誤差

≤±2%

油相執(zhí)行標準

ISO 4406、NAS 1638

水相執(zhí)行標準

ISO 21501-2、JJG 1061

適配介質表

流路模式

適配介質

典型應用場景

水相模式

超純水、去離子水

半導體濕法清洗、UPW管路監(jiān)控

水相模式

光刻膠、顯影液

晶圓涂膠前供液檢測

水相模式

半導體清洗劑、清洗液

濕法工藝槽液顆粒監(jiān)控

油相模式

液壓油、潤滑油

液壓系統(tǒng)油液污染度檢測

油相模式

絕緣油、透平油

電力設備用油顆粒監(jiān)測

油相模式

齒輪油、壓縮機油

工業(yè)設備潤滑系統(tǒng)定期取樣

 

油水雙系設計的價值在于,用戶只需一臺主機即可覆蓋水相和油相兩大類介質的檢測任務,在切換時通過獨立流路隔離降低交叉污染風險。對于同時承擔半導體工藝液體檢測和工業(yè)油液檢測任務的實驗室或產線質控部門,這種一機多介質的配置方式有助于縮減設備臺數(shù)、統(tǒng)一數(shù)據(jù)管理平臺。

 

 


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