在晶圓制造過程中，光刻膠的潔凈度直接影響光刻圖案的轉移質量。光刻膠中懸浮的微小顆粒會在曝光區域造成缺陷，導致圖形斷線、橋連或晶圓報廢。隨著制程節點向微納米級推進，對光刻膠中顆粒濃度的管控閾值也在持續收緊。普洛帝作為油液顆粒檢測領域技術創新者，推出PMT-2光刻膠版液體顆粒計數器，面向光刻膠配液、運輸與晶圓涂膠環節提供顆粒計數檢測方案。

光刻膠檢測難點

光刻膠是一種含有感光樹脂、溶劑和光致酸劑的粘稠液體，其光學特性與水相介質差異明顯。普通液體顆粒計數器直接用于光刻膠檢測時，容易遇到三個問題：一是膠液折射率較高，光散射信號偏移導致粒徑標定失準；二是膠液粘度大，低流速取樣時容易出現氣泡和掛壁現象，干擾計數結果；三是光刻膠對金屬離子和微量污染敏感，檢測流路材料需要適配潔凈要求。此外，光刻膠配方中常含有納米級顏料顆粒，檢測儀器需要區分有效成分與污染顆粒的粒徑區間，避免誤計。

核心技術

PMT-2光刻膠版采用第八代雙激光窄光檢測器，通過兩路激光交叉照射測量區，降低單一光源受液體折射率影響的偏移量。流路系統采用柱塞泵配合電磁雙系統調控取樣流速，可在低粘度到中等粘度介質之間穩定取樣，減少氣泡產生。傳感器窗口采用惰性材料封裝，兼容常見光刻膠溶劑體系。儀器標定參照ISO 21501-2《粒度分析 單顆粒的光學測量方法 第2部分：光散射液體顆粒計數器》進行，滿足光刻膠行業對≥0.2μm顆粒計數的常規檢測需求。

技術參數表

應用方案

在光刻膠生產端，PMT-2可安裝于配液罐出料管路，實時監測每批次膠液的顆粒基線，配合過濾循環系統判斷濾芯更換時機。在光刻膠運輸與倉儲環節，可通過離線取樣方式抽檢桶裝膠液的顆粒濃度，排查運輸過程中可能引入的污染。在晶圓廠涂膠工位，儀器可連接點膠機供液管路，對進入涂膠噴嘴前的光刻膠做在線顆粒監控，一旦顆粒濃度超過設定閾值即觸發報警。報告格式支持顆粒數/mL直接輸出，也可換算為污染度等級，方便與制程管控記錄對接。

光刻膠顆粒檢測是半導體制程質控中的關鍵環節。PMT-2光刻膠版圍繞粘稠液體取樣穩定性、折射率適配和流路潔凈度三個方向做了針對性設計，為光刻膠供應鏈各環節提供可追溯的顆粒計數數據支撐。