NMP（甲基吡咯烷酮）液體顆粒測試標準

NMP 液體顆粒測試核心遵循GB/T 46380-2025（電子級 NMP 國標），參考ISO 11171、ASTM D5756，適用于半導體、鋰電池用電子級 NMP 顆粒度管控。

一、核心指標（電子級）

粒徑≥0.2μm：≤200 個 /mL

粒徑≥0.3μm：≤65 個 /mL

粒徑≥0.5μm：≤15 個 /mL（制程≤10 個 /mL）

二、測試方法

取樣：在線動態無菌取樣，每次 50mL，連續 3 次，避免沉降誤差。

檢測：激光 / 光阻法顆粒計數器，量程 0.1–10μm，符合 ISO 11171，每樣測 2 次取均值。

空白對照：同批次高純 NMP 做空白，排除污染干擾。

三、分級與應用

EL 級：≥0.5μm≤100 個 /mL（工業通用）

UP 級：≥0.5μm≤15 個 /mL（半導體 / 鋰電池）

UP-S 級：≥0.5μm≤5 個 /mL（先進制程）

四、注意事項

測試環境需ISO 7 級及以上潔凈室，器具無顆粒污染；數據超差需復檢，以兩次合格結果為準。